Piezoresistiv accelerationsmätare

Kärnan i en piezoresistiv accelerometer är den piezoresistiva effekten. Den använder en mikrobearbetad fribärande stråle eller provmassa gjord av halvledarmaterial som kisel. När accelerometern upplever acceleration, orsakar tröghetskraften att provmassan deformeras. Denna deformation sträcker eller komprimerar det piezoresistiva materialet som är fäst vid balken, vilket leder till en förändring i dess elektriska motstånd. Genom att mäta denna förändring i motstånd (vanligen med en Wheatstone-bryggkrets) kan accelerationens storlek beräknas exakt.

På grund av sin unika funktionsprincip erbjuder piezoresistiva accelerometrar hög känslighet, ett brett mätområde, robust struktur och hög-frekvensrespons. De har dock generellt högre strömförbrukning och är känsliga för temperatur (kräver temperaturkompensation).

Baserat på dessa egenskaper är deras applikationer främst inriktade på fält som kräver mätning av hög-frekvent, hög-påverkan (hög-g), dynamiska händelser.